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光刻烤膠機(jī)采用什么技術(shù)工作的？
2024年10月15日 13:38
來源：深圳市博大精科技實(shí)業(yè)有限公司
光刻烤膠機(jī)主要用于將光刻膠固定在硅片上，形成穩(wěn)定的電路結(jié)構(gòu)。它是通過精確控制烤膠的溫度和時(shí)間，確保光刻膠能夠均勻、穩(wěn)定地附著在硅片上，從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。該設(shè)備被廣泛應(yīng)用于集成電路制造、光電子器件制造、微納加工等領(lǐng)域。
光刻烤膠機(jī)的核心技術(shù)主要體現(xiàn)在其準(zhǔn)確的光刻和烤膠工藝上。光刻工藝?yán)霉饣瘜W(xué)反應(yīng)將電路圖案精確地轉(zhuǎn)移到硅片上，而烤膠工藝則是將光刻膠固定在硅片上。光刻烤膠機(jī)通過高精度的光學(xué)系統(tǒng)和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了對光刻和烤膠過程的精確控制，從而保證了電路圖案的準(zhǔn)確性和一致性。
博大精科提供的HTL-350光刻烤膠機(jī)(晶圓烤膠機(jī))板表面溫度均勻，溫度100℃以內(nèi)，精度0.1~0.3°C，200℃以內(nèi)，精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度，也起到防塵作用?？蛇x擇帶有負(fù)壓功能，表面帶有若干吸附孔，可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合，起到受熱均勻效果。
關(guān)鍵詞：
光刻烤膠機(jī),HTL-350光刻烤膠機(jī)(晶圓烤膠機(jī))
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