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臨界點(diǎn)干燥儀的操作流程有幾步

  臨界點(diǎn)干燥儀是一種用于在微納加工過程中對樣品結(jié)構(gòu)進(jìn)行干燥的設(shè)備。它利用液態(tài)二氧化碳和乙醇,在特定的溫度和壓力下,使樣品表面在氣態(tài)與液態(tài)之間轉(zhuǎn)換時(shí)表面張力為零,從而大大降低了普通干燥過程對樣品表面的破壞。以下是操作流程的詳細(xì)描述:
  1. 準(zhǔn)備工作
  - 檢查設(shè)備狀態(tài):確保臨界點(diǎn)干燥儀的各項(xiàng)設(shè)備處于良好工作狀態(tài),包括壓力表、溫度計(jì)和各種閥門。
  - 確保通風(fēng):操作區(qū)域需要有足夠的通風(fēng),因?yàn)樘幚磉^程中會(huì)有二氧化碳釋放。
  2. 裝填樣品
  - 準(zhǔn)備樣品:將需要干燥的樣品放置在裝有溶劑的密封容器中。
  - 密封容器:將密封容器的蓋子固定好,確保密封。
  3. 提升壓力和溫度
  - 加入二氧化碳:將二氧化碳通過閥門加入密封容器,逐漸增加壓力。
  - 升溫:加熱密封容器,提高溫度,使得二氧化碳處于超臨界狀態(tài)。
  4. 保持條件
  - 壓力和溫度穩(wěn)定:一旦達(dá)到超臨界狀態(tài),保持壓力和溫度在穩(wěn)定范圍內(nèi),以保持超臨界流體的狀態(tài)。
  5. 去除溶劑
  - 緩慢釋放:根據(jù)程序設(shè)定,緩慢釋放二氧化碳,并觀察溶劑從材料中迅速揮發(fā)的過程。
  - 減壓:逐漸降低壓力,使得二氧化碳轉(zhuǎn)變成氣態(tài)并釋放到大氣中。
  6. 取出干燥樣品
  - 取出樣品:一旦處理完成,打開密封容器,取出已經(jīng)干燥的樣品。
  - 存放:將干燥完成的樣品進(jìn)行妥善存放,防止受潮。
  7. 清潔和維護(hù)
  - 清潔設(shè)備:清潔所有設(shè)備,確保設(shè)備處于良好狀態(tài)。
  - 維護(hù)記錄:記錄操作過程,并對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。

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