手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
三通道混氣CVD系統(tǒng)的使用注意事項(xiàng)
2023年12月23日 13:42
來源：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
三通道混氣CVD系統(tǒng)殼體結(jié)構(gòu)：
雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷。
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能。
內(nèi)爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命可開啟式，更換爐管方便。
溫控系統(tǒng)：
三個(gè)精密溫度控制器，可獨(dú)立控溫PID控制方式，通過PWM固體繼電器。
30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序。
帶有過熱和斷偶保護(hù)功能。
使用注意事項(xiàng)：
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全。
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
關(guān)鍵詞：
CVD系統(tǒng)
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
最新產(chǎn)品
采購中心