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無氧烘箱是如何實現(xiàn)無氧環(huán)境的?

2023年12月21日 09:35 來源:上海海向儀器設備廠

隨著各類產(chǎn)品工藝的日益精進和要求的提高,催發(fā)了無氧烘箱在工業(yè)用途上的普及。尤其是半導體行業(yè),在此類烘箱的需求上日益旺盛。

 

那么我們所說的無氧烘箱是如何實現(xiàn)無氧環(huán)境的呢?下面海向小編給大家介紹一下:

 


無氧烘箱內(nèi)部工作室的無氧環(huán)境主要是通過氮氣置換來實現(xiàn)的。

 

往設備腔體內(nèi)經(jīng)專用進氣口和導管充入高純氮氣,氮氣的一般純度在99.99%以上(可以根據(jù)不同產(chǎn)品對氧含量的不同要求來選擇氮氣純度)。

 

海向無氧烘箱的氮氣排氧控制系統(tǒng)采用雙路氮氣導入回路,各向箱內(nèi)提供0~100L/min+0~480L/min的氮氣,每路配套進口電磁閥,雙流量自動切換,到達設定濃度自動關閉保持低氧濃度環(huán)境,自動切換至低流量氮氣,大大節(jié)省氮氣消耗量,也可根據(jù)工藝制程要求,自行設定,滿足多種工藝需求。

 

氮氣壓力檢測-100kpa~100kpa可設定,當腔內(nèi)內(nèi)部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報警切斷進氣閥門。

 

海向建議大型氮氣烘箱或者氧含量要求較低的,最好自己工廠具備制氮機,因為保持較低的氧含量就需要不間斷的充入氮氣,對氮氣的流量要求較大,而瓶裝氮氣的成本相對較高,故有制氮機是較佳選擇。

 

氮氣進入后,經(jīng)過高溫加熱再通過過濾器,反復循環(huán),達到要求的數(shù)值。目前,氧含量檢測主要基于氧氣傳感器。接通電源,達到一定值,氧氣傳感器,開始檢測。

 

海向建議:不要長時間在潔凈室外使用設備。長期在有塵環(huán)境使用??諝庵械?/span>大量顆粒灰塵會大大降低空氣濾清器的壽命。


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